高純氬在半導體工業(yè)中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。充液氬前要用少量液氬預冷。貯存，停產期間，由于自然揮發(fā)的氮氣留在槽內，內筒壓力會逐漸升高，當內筒壓力達到0.8Mpa時，應適當打開放空閥泄壓。液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。
液氬貯槽使用前的準備工作閥門儀表的檢查：在充入低溫液體前要認真檢查閥門是否處于正確的啟閉狀態(tài)，儀表指示是否正確否則應予以調整。高純氬在半導體工業(yè)中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。液氬應用：不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質量。
液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。液氬應用：不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質量。液氬儲存注意事項：儲存于通風庫房，遠離火種、熱源、氣瓶應有防倒地措施。庫溫不宜超過30℃。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。
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